负胶
- SU-8 2000 系列:
厚度范围:
0.5-650um
线宽/光源:
i-line(E-beam,X-ray)
工艺与特点:
透明度高、垂直性好,可用于绝缘层、微流控等工艺
型号:
SU-8 2000.5/SU-8 2000.2/SU-8 2007/SU-8 2010/SU-8 2015/SU-8 2025/SU-8 2035/SU-8 2050/SU-8 2075/SU-8 2150
- SU-8 3000 系列:
厚度范围:
5-100um
线宽/光源:
i-line(E-beam,X-ray)
工艺与特点:
更好的基底粘附力,减少工艺内应力
型号:
SU-8 3005/SU-8 3010/SU-8 3025/SU-8 3035/SU-8 3050
- RDN-91 系列:
厚度范围:
40-130um(单层)可以涂两层
线宽/光源:
i-line
工艺与特点:
常用,可用于干法/湿法刻蚀、电镀等工艺, MIF显影液和MIC
型号:
SPR 220-3.0 /SPR220-4.5/ SPR220-7.0
- RDP-75 系列:
厚度范围:
0.8-1.2um
线宽/光源:
0.35um/i-Line
工艺与特点:
封装负性胶,高分辨垂直形貌
型号:
RDN-91
- KMPR 1000 系列:
厚度范围:
4-110um
线宽/光源:
i-line
工艺与特点:
厚胶,高深宽比,侧壁垂直,金属粘附性好,显影液:TMAH
型号:
KMPR 1005/KMPR 1010/KMPR 1015/KMPR 1025/KMPR 1035
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