电子化学品
- 光刻胶单体：
名称
含量
单项金杂ppb
产品名称
含量
单项金杂ppb
2-羟基异丁酸甲酯
99.9
0.1
甲基叔丁基醚
99.9
0.1
六甲基二硅烷（HMDS）
99.9
0.1
乙酸丁酯
99.9
0.1
二甲基二甲氧基硅烷
99.9
0.1
丙烯酸系列
99.5
0.1
氢氧化钾
99.9
0.5
苯甲醚
99.5
0.1
4-乙酰氧基苯乙烯
99.9
0.5
乳酸乙酯
99.9
0.1
4-叔丁氧基苯乙烯
99.9
0.5
4-甲基-2-戊酮
99.9
0.1
乙酸乙酯
99.9
0.1
二氯甲烷
99.9
1
丙二醇乙醚
99.5
0.5
乙腈
99.9
0.1
乙酸丁酯
99.9
0.1
苯乙烯
99.9
10
丙二醇甲醚
99.9
0.1
2-庚酮
99.5
0.1
- 抛光液去胶液：
产品名称
含量
指标（单项金杂）
产品名称
含量
指标（单项金杂）
稀释剂EBR
99.9
0.1/0.01
二甲基亚砜
99.9
0.1
异丙醇
99.9
0.1
三乙胺
99.9
1
氢氟酸
99.9
0.1
吡啶
99.5
1
丙二醇甲醚醋酸酯
99.9
0.1
1，4-二氧六环
99.9
0.1
丙二醇甲醚
99.9
0.1
正庚烷
99.9
1
环己酮
99.9
0.1
冰醋酸
99.9
1
四氢呋喃
99.9
0.1
甲醇
99.9
0.1
二乙二醇甲醚
99.9
0.1
乙二醇
99.9
1
二乙二醇
99.9
0.1
无水乙醇
99.9
1
二丙二醇甲醚
99.9
0.1
邻苯二酚
99.5
3
二乙二醇丁醚
99.9
0.1
对甲苯磺酸
99.5
10
乙酸正丁酯
99.9
0.1
氟化铵
99.9
10
N-甲基甲酰胺
99.9
0.1
二氯甲烷
99.9
1
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