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单步工艺

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 清洗再生


  • 在精密清洗服务中，提供RCA清洗，等离子清洗，各种酸碱reclaim等服务
  • 百级洁净室、KLA机台、颗粒度有保证，严苛去除硅片表面的微尘颗粒、金属离子及有机污染物，确保表面洁净度满足原子级标准。
  • 基底尺寸12英寸向下兼容










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