旋涂掺杂材料
- 利用氧等离子体实现透明薄膜的固态掺杂。
- 主要作用：
- 1）旋涂掺硼 [a-Si, c-Si应用]
- 2）旋涂掺磷[a-Si, c-Si应用]
- 3）旋涂掺锌[III/V族衬底]
- 省去了玻璃旋涂掺杂、在一些应用中省去了离子注入、省去了锌掺杂。
- 部分规格型号：
材料型号
类型
BDC1-2000
硼掺杂材料
PDC1-2000
磷掺杂材料
ZDPC2-2000
锌掺杂材料
- *其它型号参数欢迎咨询
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