微流控器件
- 微流控技术：是使用微管道（尺寸为数十到数百微米）处理或操纵微小流体（体积为纳升到阿升）的系统所涉及的科学和技术，除了有机合成、微反应器和化学分析等，微流控技术在生物医学领域发挥了越来越重要的作用。目前，两个重要的应用方向是临床诊断仪器和体外仿生模型
- 微流控加工：硅基微流控、玻璃基微流控、SU8、PDMS微流控等
- 多种加工方式：机械雕刻、激光烧蚀、光刻、纳米压印、干湿法刻蚀等
- 多种材料：硅（TSV）、玻璃（TGV）、SU8、陶瓷、多种金属等
- 最小尺寸：50nm，最大深宽比：30:1
- 基底尺寸：8英寸向下兼容
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