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单步工艺

📍首页MEMS代工单步工艺

 后道处理


  • 晶圆键合、减薄抛光、精密切割等
  • 依托于机械切割、激光烧蚀切割、激光隐形切割等技术,提供材质的异形切割加工技术服务,加工材料包括:硅基底、玻璃、石英、陶瓷、金属基底、柔性基底等。
  • 键合工艺:阳极键合、硅硅键合、共晶键合
  • 晶圆减薄.切割:晶圆减薄、DISCO机械切割、激光烧蚀切割、激光隐形切割,
  • 基底尺寸12英寸向下兼容










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