晶圆载盘Pocket wafer
- 也称晶圆适配器在CVD、真空溅射等各类标准机台上有较多应用，可以实现硅、碳化硅、石英等材料定制，从而适应各种应用场景。除了标准晶圆孔，也可设计多孔排布和提供各类异形尺寸定制。
- 材料：SiC、Si等
- 晶圆直径：100mm,125mm,150mm,200mm,300mm
- Pocket 尺寸、形状：客户指定
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