碳化硅
- 100-200mm SiC，凭借其硬度（SiC是世界第二硬材料）以及在高温和高压电流下的稳定性，该材料被广泛应用于多个行业。
4H-SiC
6H-SiC
直径
50mm (2"), 76mm (3"), 100mm (4"), 150mm (6")
50mm (2") & 100mm (4")
类型/掺杂
N/Nitrogen / intrinsic / HPSI
N/Nitrogen / intrinsic / HPSI
电阻率
0.012 - 0.028 ohm*cm
>0.00001 ohm*cm
厚度
250um - 15,000um (15mm)
250um - 15,000um (15mm)
表面处理
单抛/双抛
单抛/双抛
堆叠序列
ABCB
ABCACB
介电常数
9.6
9.66
电子迁移率
800 cm2/V*S
400 cm2/V*S
密度
3.21 · 103 kg/m3
3.21 · 103 kg/m3
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