SOG旋涂玻璃（Spin on Glass）
- SOG 旋涂玻璃，是半导体集成电路制造中广泛使用的一种局部平坦化技术。
- SOG旋涂后形成一层均匀的液态膜，软烘后去除溶剂，进一步加热，SOG完全固化。由于软烘过程中，SOG溶液流动性和毛细作用，从而填充表面缝隙、凹陷，形成光滑平整表面。
- 主要作用：
- 1）局部平坦化
- 2）可作为多层金属互连工艺的介电层
- 3）多层金属工艺中，可作为平滑层，保护涂层，三层抗蚀剂工艺中作为中间涂层
- 4）部分应用可替代CVD SiO2，简化工艺步骤，在薄膜磁头制程中省去衬底的抛光
- 5）可调节组成厚度，用于优化光刻过程的曝光效果，通过掺杂调整材料电学、光学和机械性能。
- 部分规格型号：
材料型号
厚度
IC1-200
0.17-0.50um
DC4-500
0.45-1um
SG series
（SG210/220/230/320/330/450）
0.1-1um
- *其它型号参数欢迎咨询
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