• SOC 旋涂碳是一种用于光刻工艺的材料
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• 主要作用：
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• 1）抑制反射，SOC可以降低光刻胶在曝光过程中反射回来的光线，从而提高光刻图形的清晰度和精度；
• 2）平整表面，SOC可以填充不平整的表面缺陷，提高光刻胶的平整度，有利于光刻图形的精确复制；
• 3）保护底部层。
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• 部分规格型号：
  
  

  类别	材料型号	Carbon	Thickness(nm)	烘烤温度℃
  HT SOC	AC-60series	87	100~130	250+400
  HT SOC	AC-614	85.8	175	250+400
  LT SOC	OTL 502S	83	151.4（1500rpm）	205-250/60s

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