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lift -off 光刻胶

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NR系列


产品介绍:

  • SML系列,正胶,电子束胶;
  • 光源推荐:E-beam;
  • 单层厚度:50-5000nm。

型号:

SML50/SML100/SML300/SML600/SML1000/SML2000

应用:

高性能SML电子束光刻胶是一种新型聚合物,专门设计来满足EBL需求。它可以写出高分辨率和高深宽比的图形。即使在低加速度电压,而不需要接近效应校正。

特性:

  • 安全且易于使用,适用于PMMA的电子束工艺流程
  • 优越的LER/LWR
  • 侧壁垂直度好。
  • 高对比度
  • 粘附性好(不需要HMDS预处理)









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