非硅晶圆
- 玻璃/石英/蓝宝石/化合物半导体
玻璃石英晶圆
蓝宝石
化合物半导体
硼硅酸盐、熔融石英和钠钙。Schott、corning等
直径:50mm-150mm
C 平面蓝宝石衬底
R 平面蓝宝石晶圆
A 平面蓝宝石晶圆
·砷化镓(GaAs)
·氮化镓(GaN)
·磷化铟(InP)
·硫化锌(ZnS)
·硒化锌(ZnSe)
·碳化硅(SiC)
·硅锗(SiGe)

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