电子束光刻胶
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SML系列
产品介绍:
- SML系列，正胶，电子束胶;
- 光源推荐:E-beam;
- 单层厚度:50-5000nm。
型号:
SML50/SML100/SML300/SML600/SML1000/SML2000
应用:
高性能SML电子束光刻胶是一种新型聚合物，专门设计来满足EBL需求。它可以写出高分辨率和高深宽比的图形。即使在低加速度电压，而不需要接近效应校正。
特性:
- 安全且易于使用，适用于PMMA的电子束工艺流程
- 优越的LER/LWR
- 侧壁垂直度好。
- 高对比度
- 粘附性好(不需要HMDS预处理)
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