超平硅片 Ultra-Flat Silicon Wafer
产品概述:
1、提供高质量超平硅片以满足客户对于平整度的要求，可定制wafer的尺寸范围：50mm~300mm。平整度测试：SFPD, SFQR, STIR, TTV, TIR, GTIR 等
2、TTV<1um,TTV<0.1um等可定制
3、以12寸晶圆为例（参数）：
直径： | 300mm |
点平整度测试： | SFQR |
点平整度测试参数： | <0.05um,<0.11um, < 0.13 um, < 0.25 um |
可用面积百分比（PUA）： | 100% |
点位大小： | 26*8mm |
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