• 产品简介：
  

        是一类通过抑制光反射、提升透射率的功能性薄膜材料，广泛应用于光学系统和半导体光刻工艺中

      旋涂于光刻胶与Si衬底界面处以吸收光刻反射光的物质，包括：底部反射涂层（BARC），位于衬底和光刻胶之间；顶部反射涂层（TARC），位于光刻胶顶部；含Si的抗反射涂层（SiARC）和旋涂碳（SOC）

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• 主要作用：
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• 主要用于抑制反射光引起的驻波效应和图形畸变，提升曝光精度 。
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• 部分规格型号：
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• 材料型号	类型	适用
  AZ BARLI II-200	BARC	i-line
  Barc AR3GSF	BARC	KrF
  AZ AQUATAR/ AZ AQUATAR-VIII-A 45/ AZ AQUARISTi 55/AZ Exp. AQUARISTi-III 45	TARC	i-line
  AZ AQUATAR-VIII-A 30/ AZ AQUATAR-8B 30	TARC	KrF

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