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器件加工

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 MEMS微纳热盘


  • MEMS微加热芯片是运用MEMS加工技术，制备出的1mm大小微小型加热器，功耗可低至毫瓦级别，目前已大批量应用于气体传感器，MEMS红外光源等。

  • 宽温区微纳热盘：（可依据客户需求定制）

  • 1. 300℃低温区热盘
  • 2. 500℃中高温区热盘
  • 3. 800℃以上高温区热盘










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