平坦化涂层材料
- 极好的平坦化性能,适用于光刻胶涂布机。
- 主要作用:
- 1)平坦化涂层:作为电介质用于凹蚀制程的平坦化
- 2)机械保护涂层材料:在切割制程中用于关键部件的保护
- 3)临时的粘结层:作为临时的粘结材料用于后道的研磨及背面处理,且容易去除
在一些方面省去了化学机械抛光、抑制凹蚀制程中的微型加载效应、消除了切割制程中薄膜的剥离和破裂、晶圆研磨和切割后易于在RD3 和RD6显影液中去除。
- 部分规格型号:
材料型号
类型
PC43-700
0.6um-1.6um
PC43-1500
1.1um-3.2um
PC43-6000
5um-12.2um
- *其它型号参数欢迎咨询

联系我们
我们期待您的来信!无论您有任何问题、反馈或需要支持,我们的团队都将竭诚为您服务。只需填写下表,我们将在 24 小时内回复所有咨询。感谢您与我们联系!
yourcompany@example.com
+86 17317629327
上海
+86 17317629327
上海