叉指电极测试芯片
- 满足不同材质衬底 | 自加热、满足不同温度、功耗需求
- 种类：陶瓷叉指电极、硅基/石英基叉指电极、柔性PI/PET叉指电极、MEMS微加热芯片
- 性能：支持可高达1000℃的自加热温度，功耗可低至2mW
- 硅基叉指电极：
- 外形尺寸: 4mm*6mm*0.5mm.
- 线宽:，线距:，指长:，叉指对数:.
- 电极衬底为单晶硅，硅片表面热氧化生长二氧化硅，厚度为285nm；
- 金属层结构: Ti/Au，厚度分别为 50nm，100nm；
- 电极使用温度范围： -150ºC~500ºC ；
- 电极电阻>100TΩ（室温下，湿度65%）；
- 陶瓷基叉指电极：
- 基底材料：氧化铝陶瓷/氮化铝陶瓷
- 外形尺寸:
- 线宽:，线距:，指长:，叉指对数:
- 金属层结构： Cr/Ni/Au，厚度分别为： 0.1μm, 1μm, 1μm。
- 电极使用温度范围 -50 ºC ~350 ºC ；
- 柔性基叉指电极：
- 基底材料：PI/CPI/PET
- 外形尺寸:
- 线宽:，线距:，指长:，叉指对数:
- 金属层结构： Cu/Ni/Au，厚度分别为： 12μm, 3μm, 1μm。
- 电极使用温度范围 -50 ºC ~250 ºC ；
- 陶瓷加热器叉指电极
1、基底材料：氧化铝陶瓷
2、外形尺寸: 2.5mm*2.5mm
3. 线宽:100um，线距300um:，指长:1000um，叉指对数:3对
4. 叉指金属层结构： 50nmTi/100nmAu
5. 功耗:300mW（@300 ºC）
6、加热器温度：室温~700 ºC
7.电极使用温度范围 -50 ºC ~700 ºC ；
- 硅MEMS微加热器叉指电极
1、基底材料：硅
2、外形尺寸: 1mm*1mm，可调
3. 线宽:10um，线距10um:，指长:100um，叉指对数:10对
4. 叉指金属层结构： 50nmTi/200nmAu
5. 功耗:30mW（@200 ºC）
6、加热器温度：室温~400 ºC
7.电极使用温度范围 -50 ºC ~400 ºC ；
- 柔性微加热器叉指电极
1、基底材料：PI
2、外形尺寸: 5mm*5mm，可调
3. 线宽:30um，线距30um:，指长:1000um，叉指对数:20对
4. 叉指金属层结构： 50nmTi/200nmAu
5. 功耗:100mW（@200 ºC）
6、加热器温度：室温~300 ºC
7.电极使用温度范围 -50 ºC ~300 ºC ；
联系我们
我们期待您的来信！无论您有任何问题、反馈或需要支持，我们的团队都将竭诚为您服务。只需填写下表，我们将在 24 小时内回复所有咨询。感谢您与我们联系！
admin@wellead-tech.com
+86 17510448360
上海
+86 17510448360
上海