光罩盒
- 光罩盒(Photomask Pod / Reticle Carrier)是半导体光刻工艺中不可或缺的精密容器。它主要用于存放、保护和运输光罩(Reticle/Mask),确保其在洁净室环境及光刻机(Scanner/Stepper)之间传输时,不受微尘污染、静电损伤或化学腐蚀。
规格
容量
2.5 英寸(长方形)
单片
3 英寸(方形)
单片
4 英寸(方形)
单片
5 英寸(方形)
单片
6 英寸(方形)
单片
9 英寸(方形)
单片
ABS,3英寸光罩盒
单片
ABS,6英寸光罩盒
单片
6英寸5槽光罩盒
多片
- *其它尺寸欢迎咨询

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上海
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